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3.2.1 基板传送带清扫

用抹布及酒精清扫基板传送位置的基板支撑工作台

3.2.2 整体交换台车清扫

用抹布及酒精清扫整体交换台车的供料器安装面及空编料带。

3.2.3 线性照相机清扫

用无尘纸清扫线性照相机的玻璃罩及透镜玻璃罩。

3.2.4 吸嘴座清扫

用棉签及酒精清扫吸嘴座的吸嘴缓冲用弹簧、夹具爪压紧用弹簧、夹具爪、过滤器、吸嘴座轴等

3.2.5 移栽吸头真空电磁阀、z轴马达点检

点检移栽吸头上的真空电磁阀以及z轴马达是否正常运行。

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